核心技術(shù)領(lǐng)域

1. 表面與輪廓測(cè)量

• 原子力顯微鏡（AFM）

• 觸針式輪廓儀（Dektak XT 系列）

• 光學(xué)輪廓儀（白光干涉儀）

2. 分子與材料分析

• X射線衍射（XRD）、拉曼光譜

3. 生命科學(xué)儀器

• 質(zhì)譜儀、核磁共振（NMR）

Dektak XT 系列（觸針式表面輪廓儀）產(chǎn)品：

Dektak XT 是 Bruker 的 高精度觸針式表面輪廓儀，用于測(cè)量表面粗糙度、臺(tái)階高度、薄膜厚度等，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)、光伏和材料科學(xué)研究。

1. 標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)與參數(shù)對(duì)比

關(guān)鍵特性

• 非破壞性測(cè)量：超低觸針力（最小 0.5 mg）避免樣品損傷。

• 高分辨率：垂直分辨率最高達(dá) 0.1 ?（XT-E），接近原子級(jí)精度。

• 自動(dòng)化功能：可選 自動(dòng)樣品臺(tái)、多區(qū)域掃描 和 3D 映射。

• 軟件支持：

• Vision64：數(shù)據(jù)采集與分析軟件，支持 ISO/ASME 粗糙度標(biāo)準(zhǔn)。

• MapSuit：3D 表面形貌重建。

2. 可選配置與配件

1. 環(huán)境控制模塊

• 真空吸附臺(tái)：減少振動(dòng)干擾（適用于納米級(jí)測(cè)量）。

• 溫控樣品臺(tái)：-20°C 至 +150°C 溫度范圍內(nèi)測(cè)試。

2. 特殊觸針

• 鉆石針尖：用于硬質(zhì)材料（如陶瓷、金屬）。

• 聚合物針尖：避免軟材料（如聚合物、生物樣品）劃傷。

3. 光學(xué)輔助系統(tǒng)

• 集成顯微鏡：精確定位測(cè)量區(qū)域。

3. 應(yīng)用場(chǎng)景

• 半導(dǎo)體制造：

• 晶圓表面平整度、光刻膠厚度測(cè)量

• 光學(xué)工業(yè)：

• 透鏡/反射鏡的粗糙度與臺(tái)階高度分析

• 材料科學(xué)：

• 薄膜涂層、納米結(jié)構(gòu)的形貌表征

• 質(zhì)量控制：

• 汽車(chē)零部件、醫(yī)療器械的表面缺陷檢測(cè)

總結(jié)

• Dektak XT 系列 是 Bruker 在 接觸式輪廓測(cè)量 領(lǐng)域的標(biāo)桿產(chǎn)品，覆蓋從 亞埃級(jí)（0.1 ?） 到 宏觀尺寸（300 mm） 的測(cè)量需求。

• 通過(guò) 模塊化設(shè)計(jì) 滿足不同行業(yè)需求，尤其適合 高精度、小尺寸樣品 的表面分析。

  
  

（注：1 ? = 0.1 nm；觸針力單位：mg = 毫克。）

其他注意事項(xiàng)：

更詳細(xì)的技術(shù)資料需通過(guò)提供項(xiàng)目詳情獲取，歡迎咨詢。

我公司自營(yíng)進(jìn)出口權(quán)，直接海外采購(gòu)，國(guó)外現(xiàn)貨航空件幾天就能交到您的手中。